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貝爾金為精密測量儀打造寧靜港灣:落地隔振平臺安裝實例

作者: 來源: 日期:2025-11-18 9:07:06 人氣:23

在現(xiàn)代科研與工業(yè)領域,精密儀器如半導體、測量儀、光刻機等,對環(huán)境的微振動極其敏感。地面的微小震動,如人員走動、車輛經過甚至空調運行,都可能像“地震”一樣干擾其測量精度和成像質量。為此,為其安裝一個專業(yè)的落地隔振平臺,就如同為它打造了一個“寧靜的港灣”。

項目背景:

某高校材料科學實驗室新購入一臺高精密測量儀,實驗室位于一樓,臨近馬路,初步振動測試顯示,主要干擾頻率在5-20Hz范圍內,遠超設備允許值。因此,決定為其安裝一臺落地隔振平臺




安裝過程實錄:


第一步:前期勘察與場地準備

這是成功安裝的基礎。我們的工程師首先對實驗室地面進行了平整度檢測,確保在平臺范圍內高低差小于3mm。同時,確認了樓板的承重能力,并精準定位了設備所需的電源、壓縮空氣接口以及網絡線纜的位置。根據平臺和測量儀的總重量及尺寸,我們與實驗室負責人共同確定了最終的安裝位置,并清空了場地。

第二步:平臺就位與初步調平

平臺主體通過叉車運至指定位置。由于平臺自重較大,我們小心翼翼地將隔振平臺移動到位。隨后,通過平臺底部的機械調平螺絲進行初步高度和水平調整。這個過程需要耐心,確保平臺基本處于水平狀態(tài),為后續(xù)的氣浮系統(tǒng)啟動做好準備。

第三步:連接氣源與電源,啟動系統(tǒng)

將工廠潔凈的壓縮空氣管路通過高壓軟管連接到平臺的進氣接口。在連接前,特意打開氣源閥門,短暫排氣以清除管路中的任何雜質和水分。接著,連接平臺的主動控制系統(tǒng)電源。一切就緒后,啟動系統(tǒng)。伴隨著輕微的排氣聲,氣浮隔振器開始充氣,將平臺主體平穩(wěn)地頂起,進入“懸浮”工作狀態(tài)。此時,機械調平螺絲已不再承重。

第四步:精調與測試

平臺安裝后,使用高精度電子水平儀再次檢查平臺面的水平度,并通過控制系統(tǒng)的進行微調,確保達到“±0.1°”以內的水平精度。實時監(jiān)測并抵消傳入的振動。我們使用獨立的振動分析儀在平臺臺面上進行測試,確認振動水平已成功降至0.8μm/s以下,完全滿足光刻機的苛刻要求。


通過這次安裝,該實驗室的測量儀器得以在近乎“零振動”的環(huán)境中穩(wěn)定運行,科研數據的可靠性得到了根本性保障。一個專業(yè)的落地隔振平臺,不僅是設備的基座,更是科研成果的堅實守護者。




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